更新時(shí)間：2024-10-16
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一、Hammer質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品特點(diǎn)
· 測(cè)量質(zhì)量流量
· 無(wú)需溫度和壓力補(bǔ)償
· 結(jié)構(gòu)緊湊
· 精度高
· 工作壓力高
· 響應(yīng)時(shí)間快
· 重復(fù)性高
二、Hammer質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
本體耐壓100bar，可測(cè)量腐蝕性氣體，結(jié)構(gòu)緊湊，重復(fù)性高，響應(yīng)時(shí)間快，性價(jià)比高，可廣泛用于設(shè)備配套。氣體大流量可測(cè)到100SLPM，質(zhì)量流量控制器的大流量可測(cè)到100SLPM。
三、Hammer質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | 質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器 |
流量范圍(N2) | 10SCCM~100SLPM |
響應(yīng)時(shí)間 | <2 sec |
精準(zhǔn)度 | ≤±1% FS |
重復(fù)精度 | ±0.2% FS |
輸入/輸出信號(hào) | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
供電電源 | ±15 Vdc or 24 Vdc, 300mA |
耐壓 | <100bar |
工作環(huán)境溫度 | 0~50 °C |
漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec |
使用范圍 | 2 ~ 100% |
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