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        M3030A質量流量控制器
        簡要描述:

        M3030A質量流量控制器,韓國Linetech M3030A氣體質量流量控制器耐壓90bar,可測量腐蝕性氣體,結構緊湊,重復性高,響應時間快,性價比高,可廣泛用于設備配套。韓國LINETECH經濟型氣體質量流量控制器Z大流量可測到300SLPM,質量流量計的Z大流量可測到1000SLPM。

        更新時間:2025-08-22

        訪問數量:3684

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        M3030A質量流量控制器

        一、M3030A質量流量控制器產品特點

        • 測量質量流量
        • 無需溫度和壓力補償
        • 結構緊湊
        • 精度高
        • 工作壓力高
        • 響應時間快
        • 重復性高

        二、技術參數

        型號

        質量流量計

        質量流量控制器

        流量范圍(N2)

          10SCCM~1000SLPM

          10SCCM ~ 300slpm

          響應時間

          <2 sec

          <2 sec

        精準度

          ≤±1% FS

          ≤±1% FS

          重復精度

          ±0.25% FS

          ±0.25% FS

          輸入/輸出信號

        0~5 Vdc OR 4~20 mA

          0~5 Vdc OR 4~20 mA

        供電電源

          ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

          ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

         耐壓

          <90bar

          0-30SLPM,<90bar;30-100SLPM,<70bar,

        100-300SLPM,<15bar

        工作環境溫度

          0~50 °C

          0~50 °C

        漏率

          1*10E-9 atm cc/sec

          1*10E-9 atm cc/sec

        使用范圍

          2 ~ 100%

          2~ 100%

         

        三、接口尺寸

         

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