更新時間：2025-12-02
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性能參數
| 指標 | 質量流量控制器 |
| 量程 | 0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM |
| 精度 | ±0.8%讀數±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數±0.2%滿量程） |
| 重復性 | ±0.2% |
| 量程比 | 200:1 |
| 響應時間 | 100ms |
| 標準狀態(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
| 溫度范圍 | -10～50 |
| 零點漂移 | 0.02％ |
| 量程漂移 | 0.02％ |
| 濕度范圍 | 0-100% |
| 測量流量范圍 | 128％（過流率） |
| 大耐壓 | 145psi |
| 輸出信號（數字） | 質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
| 數字信號可選 | RS485，Modbus，Profibus |
| 輸出信號（模擬） | 質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
| 模擬信號可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
| 電氣連接 | 8針/9針/15針（根據不同類型流量計而定） |
| 供電電壓 | 7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC） |
| 供電電流 | 0.035A（4-20mA輸出時為：0.055A） |
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