質量流量控制器無需預熱、瞬間啟動的特點使得質量流量控制器在短短一秒鐘內就能開始控制真空鍍膜過程系統的流量，實時測量顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度參數，并將運用溫度與壓力對流量參數進行充分補充。氣體模塊程序直接通過質量流量控制器自帶的屏幕顯示，并可直接通過屏幕按鈕操作切換氣體種類。

　　質量流量控制器既可進行氣體流量計量工作，也可用于過程控制領域。質量流量控制器引進美國先進技術生產，無須溫壓補償，直接測出流體的質量流量。質量流量控制器的突出特點是：沒有可動部件；壓力損失小；量程比寬；精度高；可靠性高；安裝簡單，操作方便。可以在所有領域全面替代孔板和差壓式流量計。

　　質量流量控制器采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、可靠性高的技術。其典型傳感元件包括兩個熱電阻（鉑RTD），一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質中時，其中速度傳感器被加熱到環境溫度以上的一個恒定的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。流經速度傳感器的氣體質量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加，介質帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過質量流量控制器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質的流速成正比。

　　大家都知道質量流量控制器是探測流量等的儀器，那么如果質量流量控制器出現流量偏差是一件非常嚴重的事情，因此當出現偏差的問題我們需及時的解決，今天質量流量控制器小編就來跟大家淺談質量流量控制器出現流量偏差的解決方法；

　　一、0點是否有漂移

　　首先需接通電源，質量流量控制器信號為0的情況下，則需要用萬網表測一下輸出信號值以及看一下電源控制器的反饋信號；

　　二、氣體是否純凈

　　如果盤路有污染，那么流量就肯定會收到影響，這個時候可以用高純N2多次清掃，如果還是不能解決則需要找專業維修中心接受A/S；

　　三、質量流量控制器前端壓力是否發到標定壓力

　　如果質量流量控制器的壓力不夠就會出現達不到標定量程；

　　以上就是質量流量控制器出現偏差的原因以及解決方法，希望能夠給您帶來幫助。想更多了解關于質量流量控制器、流量計、質量流量計等設備，可以關注北京漢默科技有限公司。