熱式質(zhì)量流量控制器是一種用于測量和控制氣體或液體的質(zhì)量流量儀表。它可以自動控制氣體流量，即用戶可以根據(jù)需要設(shè)定流量，MFC可以自動保持流量恒定在設(shè)定值。即使系統(tǒng)壓力波動或環(huán)境溫度變化，也不會偏離設(shè)定值。

　　該產(chǎn)品通常由電路板、傳感器、進出口管接頭、分流器管、外殼、調(diào)節(jié)閥等部件組成。它是一種可手動設(shè)置或與計算機自動連接的氣體流量穩(wěn)定裝置。簡單來說，本產(chǎn)品也是一種穩(wěn)流裝置。

　　該控制器也被制造用來測量和監(jiān)控從每分鐘幾毫升到每分鐘幾千升的范圍。它的連接方式也有很多種，比如卡套連接、螺紋連接、寶塔嘴連接以及法蘭連接等多種方式。

　　正是因為熱式質(zhì)量流量控制器準確度高，重復(fù)性好的特點，進而被很多領(lǐng)域都接受，比如它可應(yīng)用在石油化工，冶金，制藥，汽車電子，實驗室，環(huán)保行業(yè)，制氣配氣等行業(yè)中。在檢測氣體或液體的擴散，氧化，光纖熔煉，離子注入，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，以及真空鍍膜設(shè)備，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中都有用到本產(chǎn)品，可見該產(chǎn)品的作用之大。

　　該控制器特點：

　　1、高精度

　　2、流量范圍寬 - 從0.003一直到 2500 lpm

　　3、耐壓等級 - 高達 1500 psi/100 bar（可選：4500 psi/310 bar）

　　4、可編程多氣體/多量程功能

　　5、可單獨輕松訪問的診斷/維護端口

　　熱式質(zhì)量流量控制器采用熱擴散原理，而熱擴散技術(shù)是一種在惡劣條件下具有優(yōu)良性能和高可靠性的技術(shù)。本控制器是一種無需溫度、壓力補償，對管道內(nèi)各種氣體流動進行方便、準確監(jiān)測的產(chǎn)品。它是一種新型的流量測量和監(jiān)測儀器。