質量流量控制器是采用感熱式測量，通過分體分子帶走的分子質量多少從而來測量流量，因為是用感熱式測量，所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果。質量流量控制器是一個較為準確、快速、可靠、、穩定、靈活的流量測量儀表，在石油加工、化工等領域將得到更加廣泛的應用，相信將在推動流量測量上顯示出巨大的潛力。質量流量控制器是不能控制流量的，它只能檢測液體或者氣體的質量流量，通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是，質量流量控制器，是可以檢測同時又可以進行控制的儀表。質量流量控制器本身除了測量部分，還帶有一個電磁調節閥或者壓電閥，這樣質量流量控制本身構成一個閉環系統，用于控制流體的質量流量。

　　質量流量控制器擁有的優點：

　　（1）直接測量氣體的質量流量

　　質量流量控制器直接測量流體質量流量，輸出質量流量信號，無需其他設備，如溫度測試儀和壓力表，也無需進行換算。

　　（2）無可移動部分

　　本身無類似轉軸等的移動部件，增加了質量流量控制器本身的可靠性，無需機械維護。

　　（3）可以的測量微小流量，采用分流裝置，又可以測量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。

　　（4）測量控制的自動化

　　質量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現對流量的數字顯示，流量自動計量，數據自動記錄，計算機管理等。對質量流量控制器而言，還可以實現流量的自動控制。

　　（5）地定量控制流量

　　質量流量控制器可以地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制，是用于對于不同氣體的比例控制等。

　　（6）準確度高，重復性好。

　　（7）體積小巧，安裝方便，操作簡單。

　　（8）技術先進，質量流量控制器符合發展潮流。